日本 NPS sigma-5+ 高精度電阻率測(cè)定儀
產(chǎn)品名稱: 日本 NPS sigma-5+ 高精度電阻率測(cè)定儀
產(chǎn)品型號(hào): sigma-5+(主機(jī))+ RGE-12
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本 NPS sigma-5+ 高精度電阻率測(cè)定儀日本 NPS sigma-5 + 電阻率測(cè)定儀,采用 20 年以上測(cè)量技術(shù),可精準(zhǔn)測(cè)定硅芯片、太陽(yáng)能電池探測(cè)器的電阻率與薄層電阻,桌面型設(shè)計(jì)適配半導(dǎo)體研發(fā)檢測(cè)場(chǎng)景。
日本 NPS sigma-5+ 高精度電阻率測(cè)定儀 的詳細(xì)介紹
日本 NPS sigma-5+ 高精度電阻率測(cè)定儀日本 NPS sigma-5+ 高精度電阻率測(cè)定儀,是日本 NPS 專為半導(dǎo)體基板、導(dǎo)電薄膜基板、硅芯片及太陽(yáng)能電池探測(cè)器研發(fā)開發(fā)的高精度電阻率測(cè)量?jī)x器,依托 20 年以上的測(cè)量技術(shù)積累,可精確評(píng)估薄層電阻和電阻率值,是半導(dǎo)體材料研發(fā)、生產(chǎn)檢測(cè)環(huán)節(jié)的核心質(zhì)控設(shè)備。
設(shè)備核心搭配RGE-12 四點(diǎn)探針臺(tái)與RG-5 樣品架組成完整測(cè)試系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)對(duì)硅晶圓、薄膜樣品的精準(zhǔn)接觸與測(cè)量。主機(jī)配備智能開關(guān)功能面板,操作邏輯清晰,支持電流極性切換測(cè)量,可有效抑制整流造成的誤差,確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性;搭載自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)量程功能,測(cè)量時(shí)自動(dòng)設(shè)置最佳電流,無(wú)需人工反復(fù)調(diào)試,大幅提升檢測(cè)效率。
設(shè)備具備豐富的校正與計(jì)算功能:包含樣品厚度校正、半導(dǎo)體溫度校正、各種溫度校正輸入功能,可適配不同規(guī)格、不同溫度環(huán)境的樣品測(cè)試;同時(shí)支持平均測(cè)量值顯示與印刷機(jī)平均值計(jì)算,數(shù)據(jù)報(bào)告更貼合生產(chǎn)檢測(cè)需求。機(jī)身采用小型桌面型尺寸設(shè)計(jì),占地空間小,適配實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)室等多種工作場(chǎng)景,100VAC 標(biāo)準(zhǔn)供電,兼容各類實(shí)驗(yàn)室電源環(huán)境。
設(shè)備支持與數(shù)據(jù)打印機(jī)、數(shù)據(jù)連接線連接,可快速完成測(cè)試數(shù)據(jù)的導(dǎo)出與存檔,方便后續(xù)追溯與分析;可選擇多種規(guī)格樣品表,適配不同尺寸、類型的半導(dǎo)體樣品,滿足從研發(fā)驗(yàn)證到產(chǎn)線抽檢的全場(chǎng)景需求。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)、導(dǎo)電薄膜研發(fā)、太陽(yáng)能電池探測(cè)器性能檢測(cè)等領(lǐng)域,憑借高精度、寬范圍、低操作門檻的特點(diǎn),成為半導(dǎo)體電阻率測(cè)量設(shè)備。