電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵

產品名稱: 電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵

產品型號: LEH30MS

產品特點: 電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵
無油、單級、水封、緊湊型 —— 實驗室 & 分析儀器 front-end 標準
一、產品定位
水封式無油：使用去離子水作密封液，零油霧，適合激光、電鏡、半導體前道
電機直聯：無皮帶，免維護，體積比傳統水環泵小 40%
緊湊型：376×185×280 mm，23 kg，可直接放在實驗臺下方
單級水封：極限真空 33 mbar（abs），飽和水蒸氣 20 mbar，適

電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵 的詳細介紹

電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵

無油、單級、水封、緊湊型 —— 實驗室 & 分析儀器 front-end 標準

一、產品定位

水封式無油：使用去離子水作密封液，零油霧，適合激光、電鏡、半導體前道
電機直聯：無皮帶，免維護，體積比傳統水環泵小 40%
緊湊型：376×185×280 mm，23 kg，可直接放在實驗臺下方
單級水封：極限真空 33 mbar（abs），飽和水蒸氣 20 mbar，適合含水/有機溶劑樣

二、核心技術參數（LEH30MS）

表格

復制

項目	參數
原理	單級水封式（liquid ring）+ 電機直聯
極限真空	33 mbar（abs） @ 20 °C 水
抽速	50 Hz：28 m3/h (0.47 m3/min)
水封流量	0.9 L/min（去離子水，電導 <5 µS/cm）
噪音	≤ 55 dB(A) @ 50 Hz（1 m）
振動	< 2.5 mm/s（無需減振墊）
介質	空氣、N?、Ar、水蒸氣、有機溶劑蒸氣
材質	泵體 SUS304，葉輪 316L，軸封 PTFE
進水壓力	0.1-0.3 MPa（自來水或去離子水）
排水	重力自流，無泵
進氣口	DN25（寶塔 Φ25 mm，可轉 NW25）
電源	三相 200 V 50/60 Hz，0.9 kW
尺寸/重量	376×185×280 mm，23 kg

三、功能亮點

33 mbar 無油真空：比油旋片更潔凈，適合電鏡、激光腔排氣
水封自冷卻：連續運行 24h 泵體 <40℃，無需額外冷卻水
可處理水/有機蒸氣：水封液稀釋冷凝液，無乳化問題
電機直聯：無皮帶，免維護；轉速 2800 rpm，振動 <2.5 mm/s
緊湊型 23 kg：實驗臺下方即可安裝，節省空間
一鍵排水：停機后打開排水閥，自動排空泵腔，防止水垢

四、典型應用系統圖

復制

激光器腔體┌─── 腔體 ───┐│             │進氣← LEH30MS ← 水汽冷凝器（可選）│             │└─── 回大氣 ──┘

泵進口接激光腔，出口接冷凝器回收溶劑
水封液 0.9 L/min 循環使用，每周更換一次

五、實測數據（實驗室驗證）

電鏡腔體 50 L，室溫 25 ℃
LEH30MS 50 Hz 運行：

2 min 達到 50 mbar
5 min 極限 33 mbar
連續 8 h 水封溫升 <8 ℃，無乳化

六、選型與配件

表格

復制

件號	說明
LEH30MS-200	三相 200 V 50/60 Hz 標準型
LEH30MS-DI	去離子水套件（水箱+流量計）
LEH30MS-COND	溶劑冷凝器（回收乙醇、丙酮）
LEH30MS-NW25	NW25 快接法蘭套件