日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列

GMi系列的特點(diǎn)

• 廣域測量可以測量
  從大氣壓到高真空區(qū)域（10 ⁵至5×10 ^-8 Pa）（當(dāng)同時(shí)使用GPM和GAM時(shí)）。
• 可以連接不同量程的探頭，使用
  多離子規(guī)可以根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。
• 準(zhǔn)確的大氣壓測量
  輕松，準(zhǔn)確地確認(rèn)大氣壓（使用GAM時(shí)）
• 低環(huán)境負(fù)荷
  可以降低運(yùn)行成本，因?yàn)橹挥性谛枰獣r(shí)才可以更換觸點(diǎn)。
• 
  配備能檢查異常情況的LED，提高了可見度
• 
  易于維護(hù)可更換探頭
• 每種模式（組合模式）的
  規(guī)格GMi + GPM（離子計(jì)+皮拉尼表）
  GMi + GPM + GAM（離子計(jì)+皮拉尼表+大氣壓傳感器）
• 測量值輸出信號(hào)
  壓力為0-10V輸出（對數(shù)輸出）
• 控制輸出信號(hào)
  設(shè)定值3點(diǎn)可輸出（GMi-1）
• 可以進(jìn)行串行通訊規(guī)格
  RS232C / RS485通訊（GMi-2）
• 符合
  CE標(biāo)準(zhǔn)

用

• 用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的高真空區(qū)域中的過程控制
• 在具有多個(gè)處理腔室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域（例如在線型和單晶圓型）中確定極限壓力
• 高真空/超高真空設(shè)備的壓力測量

規(guī)范

每種模式的規(guī)格

GMi-1 / GMi-2可以從三種用途中選擇：多離子壓力計(jì)單模，帶皮拉尼壓力計(jì)的組合模式以及帶皮拉尼壓力計(jì)和大氣壓傳感器的三重組合模式。

模式	GMi-1 / GMi-2  獨(dú)立模式	GMi-1 / GMi-2 + GPM コンビネーションモード	GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM コンビネーションモード
測定圧力範(fàn)囲	5 × 10-8 ～ 1 × 101 Pa	5 × 10-8 ～ 1 × 104 Pa	5 × 10-8 ～ 1 × 105 Pa
測定精度	5 × 10-8 ～ 1 × 101 Pa± 15 %	5 × 10-8 ～ 1 × 103 Pa：± 15 % 1 × 103 ～ 3.0 × 103 Pa：± 30 % 3.0 × 103 ～ 1.0 × 104Pa：精度保証なし	5×10 -8至1×10 3 Pa：±15％ 1×10 3至3.0×10 3 Pa：±30％ 3.0×10 3 至1.0×10 4 Pa：無精度保證 1.0×10 4至1.0× 10 5 Pa：±3％FS  （3×10 3 Pa，參考溫度25°C）
重復(fù)性	1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa：Pa±2％
接線圖（示例）

尺寸圖

單位：毫米
*規(guī)格或建議零售價(jià)如有變更，恕不另行通知。

日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列